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二次元投影仪-影像测量仪哪家更好

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     本文以测量标准线宽和圆直径为例,在一光学坐标测量仪上,人工一次对焦,仪器自动寻边测量,验证光源照明对测量结果的影响。
       试验A中,对一系列5个白底黑线线宽组(0.04 ~0.08 )mm,在不同照明强度下测量各线宽宽度和线1及线5的中心问距。测量时,采用透射照明,先进行调焦后保持该成像焦面。
       从表1中可以看出,不论线宽名义值多少,同一种线宽随着光强值的增大,超过50%时有明显减小,而线间距却几乎保持不变,0.1um尾数的变化则是仪器重复性所带来的影响,之所以产生这种影响,其实也很好解释:当光强增大时,由于光对照明物体边缘衍射和散射等现象的存在,当被观测是白底黑线时黑线线宽有微量缩小,而当被观测是黑底白线时白线线宽有微量增大。
       试验B是对两个黑背景下的亮圆直径0.2mm环口圆心距,在不同照明强度下测量圆直径和圆的中心问距。
       数据分析中得出与试验A中相同的结论:当光强增大时,亮圆直径有微量增大,而相同结构的圆图形中心距却保持不变。
 
     在影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量,测量时先对焦,后对准,再读数(计数),最后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统,对焦对准依靠显微镜光学系统,还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源,因为,基于影像方法测量的仪器,如果被测件不能被有效正确的照明,则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。除前述因素外,环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析,可以归纳出以下几个方面的误差来源:光学测量仪厂家
       1)光栅计数尺的误差;
       2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;
       3)工作台两测量轴垂直度带了的误差;
       4)显微镜光轴与工作台面不垂直带来的误差;
       5)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。
       6)测l量室温度偏离20℃参考温度带来的误差;
 
       在这几种因素中,前四项误差,是硬件误差,在仪器制造过程中已经形成并固定下来,一般无法改变;温度影响带来的误差,必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。
       最后一项则常被忽视,而在实际测量中,当光源照明条件改变时,直接影响被测工件的照明效果和影像质量,主要是因为影像测量仪的图像是通过CCD接收,尽管CCD具有白动调节增益的功能,但当亮度过大时即失去调节功能,导致被测工件影像在缩小,当亮度过低时,工件影像反而变大。这种影响,对于测量具有重复图形结构之问的问距时,只要整个测量过程中照明条件保持不变,其影响可以忽略,因为每个重复图形结构都同时在变大或变小,问距的测量计算直接消除了影像变形的影响,如测量玻璃尺、网格板刻线问距;除了这种特殊情形外,如测量圆的直径、工件的长度和宽度,都将带来明显的误差。二次元检测仪厂家二次元检测仪厂家
 
 
 
 
 
 

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